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第229章 步进式光刻机成功!

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  沈永健屏住呼吸,手中动作愈发沉稳。

特制的光学镜头被精密夹具悬吊,他不断调整着微米级的定位螺杆,直至镜筒与基座接口纹丝咬合。

“咔哒~!”

一声低低的脆响在此刻穿透车间。

物镜严丝合缝地嵌入光刻机主体。

“成了!?”

刘师傅干哑的嗓子喃喃自语道,带着污渍的手在工装裤上狠狠攥紧。

卓邵文蜡黄的脸上双眼血丝依旧,自从负责光刻机后,对方一样是这次项目研制中,投入精力最多工作时间最长的一位。

此刻目光紧盯着才组装完成的步进式光刻机,心中既兴奋又紧张。

余下众人站在数米开外,此刻同样兴奋。

沈永健当下并未着急,而是环顾这台大家伙周身,又细细检查了一圈。

这才在众人的注视下,按下了总控开关。

“嗡——!”

低沉的共振声从机箱深处传来。

汞灯的冷光霎时亮起,透过崭新的物镜在硅片承载台上投下一圈光斑。

氮气吹管嘶嘶低鸣,冷却水循环系统平稳运行。

步进电机发出精准的“嗒嗒”声,工作台沿导轨滑出流畅的直线,控制面板的指示灯不断闪烁后,最终平稳下来。

“邵文同志,先进行投影分辨率测试。”

沈永健沉稳地发出指挥,卓邵文立刻到操作台前,将校准掩膜版推入光路中。

下一刻汞灯亮度瞬间提了好几度,经过多层透镜组的聚焦,最终在投影屏上炸开一道深紫色的光锥。

而显微镜的目镜之中,0.5微米的测试线条纤毫笔直,边缘锐利。

显然,北春光电所的物镜完美达标,且这一路运来也未让这物镜有任何的磕碰偏差。

“投影分辨率测试通过!”

第一项最重要的测试通过,在场众人都悄然松了口气。

刘师傅更是咧嘴笑了起来,露出长期抽烟的黄牙,沙哑低语道。

“我就猜能过!”

“这台可比咱们原先的机子亮堂多了!这光刺得我眼睛都睁不开!这要是都不通过都没天理了!”

闻言,其余同志也跟着附和起来。

沉闷凝重的场面一时间愈发缓和。

“下一项套刻精度测试。”

“这测试我们轮流来吧,曹文三你今晚先顶上,邵文同志,曲嵩,张伟森


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