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第530章 L-5芯片落成

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一点左右才将整个图纸录入计算机,随即进行仿真测试。

结果不出意外,仿真顺利通过。

整个研究所便进入了流片的正式工作中。

……

几日后,微电子厂崭新的微电中心。

新四车间内,原本的L-4生产任务暂停,转由其他车间进行生产。

陈工亲自在车间内进行协调,以迎接微电子所众人的流片试制。

如今整个芯片研制过程也越来越偏向后世。

早期的芯片流片还在微电子所的实验室内。

如今因为最新的步进扫描光刻机在微电子厂内,流片工作也协调后在厂里进行。

一如后世真正的芯片工程那般,研究所或者大公司只负责设计与仿真,真正的流片与排期生产则交由工厂。

专用的精密空调和空气系统已提前开启。

沈永健、卓邵文以及几位核心骨干同志已穿戴上严密的防尘服,站在庞大的步进扫描光刻机前。

“掩模版和测试硅片都已经准备就绪。”

陈工带着身后的钱田宝以及曹俊走近。

这次流片的前期准备工作,都是由钱田宝与曹俊二人负责。

二人脸上有些激动和兴奋,哪怕厂里光刻生产早已习惯,但像这种光刻的流片还是第一次。

且按照陈工前几天交代的,这次要是流片能成,之后微电子所的芯片方案流片都会陆续交由他们工厂负责。

“开始吧。”

沈永健透过防尘面罩,注视向钱田宝。

流片日后预备交给工厂,这次则由他亲自带钱田宝二人进行工作。

钱田宝点了点头,在主控台上输入了确认指令。

“晶圆传送开始。”

整台光刻机正式启动,随着机械结构的响动,一片涂覆着光刻胶的测试硅片被平稳地送入光刻机的真空腔室。

车间内特殊的黄光亮起,以防止光刻胶提前曝光,屋内空气机组的过滤单元传来极其微弱的白噪音。

“对准系统启动,激光干涉仪锁定。”

曹俊紧盯着屏幕上的数据。

屏幕上,十字对准标记在多次校准后最终完美重合。

“曝光开始。”

庞大的步进扫描光刻机内部,深紫外光源瞬间激发。

掩模台与硅片台在激光干涉仪的精准控制下,再次开始了平滑的同步反向扫描移动。


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