第一批标准八英寸晶圆被机械抓手切下,整整齐齐地码放在无尘操作台的托盘内。
每一片都薄如蝉翼,表面光洁如镜,倒映着车间刺眼的白光。
程美丽站起身,走到无尘操作台前。
她没有戴手套,而是直接用一把定制的防静电竹镊,捏起一片刚切好的晶圆。
薄薄的硅片在她指尖转了半个圈。
她将其平放在高倍电子显微镜的载物台上,低头凑近目镜。
右侧的旋钮被她快速拧动,焦距在一瞬间锁定。
显微镜下的视场里,晶圆表面的微观结构暴露无遗。
程美丽看了一眼,眉头立刻拧成了一个死结。
她直起身,把竹镊往托盘里重重一扔。
啪!
“废品。”
两个字,轻飘飘地砸在操作台上。
周围刚准备鼓掌的技术员们集体僵住,脸上的喜色瞬间凝固。
李副部长急忙凑上来,声音发紧。
“程工,哪里不对?”
“平整度。”
程美丽指着托盘里的那堆晶圆,语气冷得掉冰渣。
“你们现在用的涂层工艺,药液分布存在明显的厚度落差。”
她竖起一根手指。
“0.1微米的平整度误差。”
“这种表面,只要上了光刻机,光线一照就会产生衍射畸变。”
“刻出来的电路不仅会短路,还会直接烧穿底板。”
几个核心工程师脸色煞白,后背冒出一层冷汗。
0.1微米的误差,在他们现有的认知里,已经是极限的极限。
“这……”
一名老工程师咽了一口唾沫。
“程工,咱们现有的光刻胶配方粘稠度太高,旋涂机根本甩不平这0.1微米啊。”
“甩不平就换配方。”
程美丽没理会他们的难处,双手揣进白大褂的口袋里,闭上了眼睛。
意识深处,系统面板瞬间亮起。
她点开跨时代物资商城的检索栏。
【搜索指令:极紫外光刻胶配方图谱。】
金色的商品图标在面板中央缓缓浮现,带着一股不可侵犯的科技威压。
【叮!兑换确认。】
【该图谱为跨时代机密技术,将扣除宿主五万点作精值。】
程美丽的指尖在虚空中毫不犹
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