穿透复杂到令人窒息的镜头群,最终精准轰击在掩膜版之上。
嗤!
一声极轻的灼响。
光,咬住了。
“聚焦成功!”
“主焦点锁定成功!”
会场里先是一静。
紧接着。
轰!
整个主控区像炸了一样。
“成了!”
“真的聚住了!”
“曝光!快上曝光程序!”
程美丽一掌拍下执行键。
啪!
晶圆工件台开始高速平移。
涂满极紫外光刻胶的八英寸晶圆,在真空吸附台上稳稳前送。
那束杀穿所有封锁的极紫外光,透过掩膜版,在晶圆表面留下一道又一道肉眼不可见的微观刻痕。
全场没人再说话。
只剩设备运转的低沉轰鸣。
还有众人压得发疼的呼吸。
三分钟后。
滴!
曝光结束。
晶圆被机械抓手缓缓送出,推入显影清洗区。
化学显影液如细雨般淋下。
冲洗。
定型。
白色水雾弥散在玻璃罩内,遮得人眼前发白。
“出来了。”
程美丽开口。
机械抓手应声探出,将首片曝光后的晶圆平稳夹起,送向最高精度电子显微镜平台。
李副部长站在显微镜前,手都不知道该往哪放。
一名院士死死抓着自己的老花镜,指节泛白。
程美丽走过去,亲手转动焦距旋钮。
咔。
目镜锁定。
她低头看了一眼。
没说话。
直接抬手把显微镜画面投上了主屏。
嗡!
巨幕亮起。
一片安静得近乎完美的微观世界,瞬间铺满全场视野。
晶格。
线路。
一道道细密到让人头皮发麻的电路纹路,整整齐齐排布在硅片之上。
每一条边缘都锋利。
每一个拐角都干净。
没有塌陷。
没有毛刺。
没有任何因为失焦带来的烧灼和畸变。
主屏右上角,自动检测数值缓缓跳出。
0.5微米。
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